製品情報
洗浄(ポストCMP)装置

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試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。
また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。
弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。

製品一覧

MAT-ZAB-8S1M

MAT-ZAB-8S1M

マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ~200㎜ウェハに対応。ドレス機構搭載。 クラス最小のフットプリント。
MAT-ARW-681A

MAT-ARW-681A

研磨機と洗浄機が一体化されたDry-In/Dry-Out装置です。
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