製品情報
CMP(研磨)装置

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試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。
また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。

製品一覧

BC-15CN

BC-15CN

卓上型でコンパクトながら、CMP全般の試験に最適。酸性・アルカリ性のあらゆるスラリーに対応可能です。
MAT-ARW-461M

MAT-ARW-461M

マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ-4インチウェハに対応。ドレス機構搭載。
MAT-ARW-681MSⅡ

MAT-ARW-681MSⅡ

マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ~200㎜ウェハに対応。ドレス機構搭載。 クラス最小のフットプリント。
MAT-ARW-8C1MS

MAT-ARW-8C1MS

マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ~300㎜ウェハに対応。ドレス機構搭載。 クラス最小のフットプリント。
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