マニュアルローディングCMP実験装置。３インチ～200㎜ウェハに対応。ドレス機構搭載。
クラス最小のフットプリント。
クラス最小のフットプリント。
| 対応Wfサイズ | φ3″～200mm |
| プラテンサイズ | φ610mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W1375xD855xH2200mm |
| ドレスサイズ | φ100mmスイープ |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
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MAT-ARW-681MSⅡ
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