製品情報

ラップ、ポリシング後の残滓除去・防錆リンス液 〈VECTOR HTR〉希釈率

• ラッピングプレート･ウェハー上の残滓除去に使用
• ラッピングプレートとウェハー間の表面張力を抑え、ウェハー上の残滓を低減いたします。ポリシング応用では、パッドとウェハーのリンスに威力を発揮します。

利点
ウェハー洗浄･取り扱い時使用／ラッピングプレート･パッドのメンテナンス･洗浄の低減／ステイニングの低減／プレートのコンタミネーションによるウェハーの割れ･スクラッチの低減／ラッピング時のウェハー割れ低減