- アルカリ又は、純水超音波・メガソニック洗浄用に開発
- 超音波及びメガソニックエネルギーが効率的にウェーハに作用
- 経済的希釈率
- 低分子量有機物・ポリマー・サブミクロンパーティクルの除去
- VECTOR HTC-PLUSは、加熱・非加熱の洗浄タンクで使用され、ブラシ洗浄やディッピングにも応用可能
- その他、HTC-SCA、-SCA-N、-SCA-1、-SCA-1-Nの4タイプ
利点
優れた濡れ性/リンス不要-膜・残滓の残存無し/他のVECTOR製品との共用可能/フィルタが容易で経済的
利点
優れた濡れ性/リンス不要-膜・残滓の残存無し/他のVECTOR製品との共用可能/フィルタが容易で経済的
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