CMPプロセスの開発やデモテストから、受託加工、装置の製造販売・消耗品の販売まで幅広く対応いたします。 CMP装置（研磨）、洗浄装置（ポストCMP）、グラインダー（研削）などの装置を卓上型から300mm対応のものまでラインナップし、製造・販売しております。また、お客様のプロセスに応じたカスタマイズ・オーダーメイド装置や、消耗品（スラリーや添加剤）もご提供させて頂いております。
製品ラインナップ
CMP（研磨）装置
試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。
また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。
洗浄（ポストCMP）装置
試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。
また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。
弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。
グラインダー（研削）装置
試験・量産用の研削装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。
また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。 弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。
