8inch ウェハー用表面検査装置 スペック表 | |
---|---|
検査ワーク |
Si-wafer |
ワーク把持 |
外周吸着または裏面吸着 |
検出感度 |
50~60nm(PSL) |
検査時間 |
250s/面~ |
事業紹介
あらゆる業種のニーズにあわせた検査自動化装置を提案いたします
汎用品からオーダーメイド品までレーザー式検査装置の開発・設計・販売を行っております。
不透明体や透明体などさまざまな材料の検査媒体において単に欠陥を見つけるだけではなく、欠陥サイズや形状などに応じて集計した結果をフィードバックすることで工程改善にも寄与します。
光学系だけでなく搬送系も含めてニーズに沿った最適な検査自動化装置を提供します。
検査方法・検査例
ウェハー用表面検査装置
レーザー走査型異物検査装置 / LSI
装置ラインナップ
レーザ走査型異物検査装置/LSI スペック表 | |
---|---|
検出感度 |
1.0μm〜 |
検査時間例 |
12inchガラスウェハー 約150s/枚 |
480mmx360mmガラス板 約300s/枚 | |
許容板厚 |
50~60nm(PSL) |