• 最大径φ200mmウエハ対応
• 縦型連続ダウンフィードグラインダー
• 高剛性で使いやすいシンプル設計
| タイプ | 自動バックグラインダー |
|---|---|
| 対応Wfサイズ | チップ～200ｍｍ |
| 砥石サイズ | φ250mm |
| チャックプレートサイズ | φ210mm |
| チャックプレート数 | 1個 |
| ポリッシュ機構 | 無 |
| フットプリント | W1100ｘD1350ｘH2150mm |
| 対応アプリケーション | Si/SiC/サファイア |
製品について
製品情報
MAT-GYR-823A 超高精度グラインダー
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