最大Φ300mmの加工物を高精度に仕上げるダウンフィード型一軸研削装置。
砥石用スピンドルにはエアー軸受けを採用し、１ミクロンの微細送りが可能です。
| タイプ | マニュアルインフィード |
|---|---|
| 対応Wfサイズ | チップ～φ300mm |
| 砥石サイズ | φ300mm |
| チャックプレートサイズ | φ310mm |
| チャックプレート数 | 1個 |
| ポリッシュ機構 | 無 |
| フットプリント | W1100ｘD1350ｘH2150mm |
| 対応アプリケーション | Si/SiC/サファイア |
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MAT-GYR-300
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