マニュアルローディングCMP実験装置。3インチ-4インチウェハに対応。ドレス機構搭載。
| 対応Wfサイズ | 3″〜150mm |
| プラテンサイズ | 400mm |
| LD-UnLD | マニュアル |
| フットプリント | W700xD600xH1800mm |
| ドレスサイズ | 195mm dia. wheel |
| 対応アプリケーション | CMP／MEMS／CMP部材評価100mm |
製品について
製品情報
MAT-ARW-461M
お問い合わせ
CONTACT
サービスについてのご相談・ご質問など、
お気軽にお問い合わせください。
受付時間：9:00～17:00（土・日・祝休み）