| 装置名称 | ウェハ貼付装置 | |
| ウェハサイズ | 3～6inch | |
| 支持板 | ～φ190㎜ | |
| 重量 | 280㎏ | |
| サイズ | Ｗ830㎜ Ｄ800㎜ Ｈ1582㎜ |
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| 設定温度範囲 | 室温～140℃ | |
| 圧力設定範囲 | 0.05～0.3Mpa | |
| 入力電源 | AC200V 1PH 50/60Hz | |
| 消費電力 | 35A | |
| 供給気体圧力 | 0.4～0.5Mpa 700L/min(ANR) ※クリーンドライエアー |
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| 操作 | マニュアル | |
| 対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス | |
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ウェハ貼付装置
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