CHALLENGE 543-HTはアルミナ、セリウム、ジルコニア、SiC、B4C、人造/天然ダイヤモンド、ガーネットなどの様々な砥粒の分散性を高める為のラッピング/ポリシング用の潤滑剤であり、ラッピング/ポリシング効果を得られる適度な粘性をスラリーに生み出します。この分散効果と粘性により砥粒の使用量は50％削減でき、取り代のパフォーマンスとしては同等かそれ以上を発揮します。543HTスラリーを使用の際は、粘性・分散性がある為に小径なチューブで少量のスラリー供給量で使用するとより効果的です。
利点
ラップ・ポリッシュ後の平坦性／ウェハーダメージ低減／高ラップレート／スクラッチ無し／後洗浄性の向上／高いラップ再現性／研磨材の使用量の削減