製品情報

ラッピングスラリー用のサスペンション添加剤 〈VECTOR HTS-3〉

• 高い生分解性
• 高い粘性･ポリマー／表面活性効果
• 研磨剤：WA、GC
• シリコンウェハーのラップ用
• 物理的･化学的特性の変化無く1週間以上高い分散性を保持
• 各種ラッピングプレートに対応

利点
ウェハー平坦性／ウェハーダメージ低減／高ラップレート／スクラッチ低減／後洗浄性の向上／高いラップ再現性ウェハー残滓低減／研磨材の削減