プレートサイズ
（径）φ6”〜※最大径はご相談下さい。（φ48″以上の場合はセグメントでご対応）
（厚み）標準厚み：1/2″(12mm) or 1/4″(6mm)
その他、特殊なサイズにもご相談に応じます。
プレートの貼付け・形状加工・溝入れ加工も当社で承ります。
プレート材質
ケメット鉄
ケメット銅
ケメットセラミクス
ケメットPR3
| プレート種類 | 推奨砥粒 | 特徴 | |
| Kemet メタル レジンプレート |
Kemet Iron ケメット鉄プレート |
ダイヤモンド 9〜30μm |
最も一般的に使用されるプレートの一つ。 9µm以上のダイヤモンドプロダクトとの相性が良好。 |
| Kemet Iron SP2 ケメット鉄SP2プレート |
ダイヤモンド 9〜30μm |
除去量の多い素材や硬質な部品のラッピングに最適。 | |
| Kemet Copper ケメット銅プレート |
ダイヤモンド 3〜9μm |
最も一般的に使用されるプレートの一つ。 3 – 9µmのダイヤモンドプロダクトとの相性が良好。 | |
| Kemet Copper SP2 ケメット銅SP2プレート |
ダイヤモンド 2〜9μm |
硬質・中硬質素材のラップに最適。ケメット銅よりもハイレートなラップが可能。 | |
| Kemet XP ケメットXPプレート |
ダイヤモンド 3〜9μm |
銅・錫・樹脂混合プレートです。硬質・中硬質素材のラップによる平坦化に最適。鏡面研磨用としても使用可能。 | |
| Kemet XL ケメットXLプレート |
1/10〜2μm | 錫鉛に替わるプレート。鏡面仕上げが可能。 | |
| Kemet Tin ケメット錫プレート |
ダイヤモンド 1/10〜2μm |
最も柔らかいKemet プレート。1μm前後のダイヤモンドプロダクトとの相性が良好。鏡面研磨に使用。 | |
| Kemet レジンプレート |
Kemet PR3 ケメットPR3プレート |
コロイダルシリカ、 アルミナ |
メタルフリープレート。特にガラスの研磨に効果的で、パッドよりダレの少ない鏡面仕上げが可能。 |
| Kemet セラミックレジン プレート |
Kemet Ceramic ケメットセラミック プレート |
GC、WA、 ダイヤモンド |
最も硬いKemetプレートの一つ。金属コンタミを目的に開発され、GC･WA用のLCとダイヤ用のLFPをラインナップ |
| メタルプレート | 鋳鉄プレート | GC、WA | GCやWAを使ったラップに適したプレート |
| メタル銅 | ダイヤモンド 3〜9μm |
レートの早いプレートで中仕上げに最適 | |
| メタル錫 | ダイヤモンド 1/10〜1μm |
プレートダイヤポリッシュに適したプレート | |
SUS材ラップ研磨加工例
| 定盤 | ケメット 鉄定盤 |
ケメット 銅定盤 |
ケメット XL定盤 |
MSFL （パッド） |
| 研磨材 | ダイヤモンド スラリー 9μm |
ダイヤモンド スラリー 3μm |
ダイヤモンド スラリー 1/2μm |
ダイヤモンド スラリー 1/2μm |
| 表面画像 |  |
 |
 |
 |
| 顕微鏡 画像 (50倍) |
 |
 |
 |
 |
ケメット銅プレート〈サファイア加工による参考データ〉
ケメット銅プレートはサファイアラッピング向けに開発されたプレートです。
| 加工条件 | ||||
| 材質 | サファイア A軸 | 定盤溝 | スパイラル | |
| サイズ | φ2″ x 0.33mm t | 定盤回転数 | 60rpm | |
| 保持方法 | Wax 3枚貼り | ダイヤモンド噴霧 | 3秒間/回、 27秒間隔 | |
| 荷重 | 1ウエハあたり296g/cm2 | 使用 ダイヤモンド スラリー |
6μm 多結晶 油性 | |
| 定盤径 | 18″ | |||
| 加工結果 | ||||
| プレート | レート (μm/min) |
プレートの特徴 | ||
| フェーシング効率 | 面粗さ | レート | ||
| Kemet銅 標準 | 0.6 – 0.7 | ◎ | ◎ | ○ |
| Kemet銅 SP2 | 1.3 – 1.6 | ◎ | ◎ | ○ |
| Kemet銅 SP3 | 1.7 – 1.9 | ○ | ○ | ◎ |
| Kemet銅 XP | 1.9 – 2.1 | ○ | ◎ | ◎ |
| Kemet銅 XJ2 | 2.3 – 2.5 | ◎ | ○ | ◎ |
ケメットPR3プレート
ケメットPR3プレートは樹脂のみを固めて製造したピュアレジンプレートです。スクラッチフリーと平坦度を両立が可能。一般的なポリシングパッドでは生じてしまうワークの面ダレを防止します。
ポリシングプレート
ますます面精度を要求される最先端部品。
ケメットでは、究極の平坦度を追求しております。
錫定盤、鋳物定盤他、各種仕様を提供しております。