事業内容07
検査装置

事業紹介

あらゆる業種のニーズにあわせた検査自動化装置を提案いたします

汎用品からオーダーメイド品までレーザー式検査装置の開発・設計・販売を行っております。
不透明体や透明体などさまざまな材料の検査媒体において単に欠陥を見つけるだけではなく、欠陥サイズや形状などに応じて集計した結果をフィードバックすることで工程改善にも寄与します。
光学系だけでなく搬送系も含めてニーズに沿った最適な検査自動化装置を提供します。

検査方法・検査例

ウェハー用表面検査装置

  • 光散乱スパイラルスキャン方式
    光散乱スパイラルスキャン方式
  • 8inch (Φ200mm) ウェハー検査マップ検査例
    8inch (Φ200mm) ウェハー検査マップ検査例

レーザー走査型異物検査装置 / LSI

  • レーザ走査型光散乱方式
    レーザ走査型光散乱方式
  • 12inch (Φ300mm) ガラスウェハー検査マップ検査例
    12inch (Φ300mm) ガラスウェハー検査マップ検査例

装置ラインナップ

装置ラインナップ
8inch ウェハー用表面検査装置 スペック表
検査ワーク
Si-wafer
ワーク把持
外周吸着または裏面吸着
検出感度
50~60nm(PSL)
検査時間
250s/面~
レーザ走査型異物検査装置/LSI スペック表
検出感度
1.0μm〜
検査時間例
12inchガラスウェハー 約150s/枚
480mmx360mmガラス板 約300s/枚
許容板厚
50~60nm(PSL)

関連事業

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